上海光源弯铁光束线水冷四刀白光狭缝
狭缝开口尺寸水平方向0-70mm垂直方向0-10mm刀口范围水平方向-2-37mm垂直方向-2-7mm运动精度分辨率水平方向10μm垂直方向4μm重复精度水平方向25μm垂直方向20μm定位精度水平方向25μm垂直方向20μm直线度水平方向20μm/全程垂直方向10μm/全程垂直刀口平行度200μm刀口材料Ta(吸收体OFHC)真空度～10-7Pa(静态真空)
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产品分类：
详细介绍
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狭缝开口尺寸
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水平方向
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0-70mm
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垂直方向
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0-10mm
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刀口范围
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水平方向
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-2-37mm
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垂直方向
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-2-7mm
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运动精度
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分辨率
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水平方向
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10μm
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垂直方向
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4μm
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重复精度
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水平方向
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25μm
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垂直方向
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20μm
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定位精度
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水平方向
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25μm
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垂直方向
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20μm
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直线度
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水平方向
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20μm/全程
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垂直方向
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10μm/全程
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垂直刀口平行度
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200μm
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刀口材料
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Ta(吸收体OFHC)
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真空度
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～10-7Pa(静态真空)
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