详细介绍
偏转镜箱技术要求：
偏转镜箱出入光两侧法兰中心距离长度为300mm，镜箱直径200mm。入射光轴线在偏转镜处高度为0.95m。偏转镜两端连接法兰为CF63。观察窗法兰为CF50。
箱体内各件所有盲孔应有排气孔。
装配前，零件按超高真空清洗规范清洗干净。
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